Plasma purigado estas pruvita, efika, ekonomia kaj ekologie sekura metodo por kritika surfaca preparado.Plasma purigado kun oksigena plasmo forigas naturajn kaj teknikajn oleojn kaj grasojn je la nanoskalo kaj reduktas poluadon ĝis 6-oble kompare kun tradiciaj malsekaj purigadmetodoj, inkluzive de solventaj purigaj restaĵoj mem.Plasma purigado produktasnetuŝita surfaco, preta por ligo aŭ plua prilaborado, sen ajna malutila rubmaterialo.

Kiel funkcias plasma purigado

Ultraviola lumo generita en la plasmo estas tre efika en la rompado de plej organikaj ligoj de surfacaj poluaĵoj.Ĉi tio helpas disigi oleojn kaj grasojn.La dua puriga ago estas farita de la energia oksigena specio kreita en la plasmo.Tiuj specioj reagas kun organikaj poluaĵoj por formi plejparte akvon kaj karbondioksidon kiuj estas ade forigitaj (pumpitaj for) de la kamero dum pretigo.

Se la parto estiplasmo purigita konsistas el facile oksideblamaterialoj kiel arĝento aŭ kupro, inertaj gasoj kiel argono aŭ heliumo estas uzataj anstataŭe.La plasmo-aktivigitaj atomoj kaj jonoj kondutas kiel molekula sabloblovo kaj povas detrui organikajn poluaĵojn.Tiuj poluaĵoj denove estas vaporigitaj kaj evakuitaj de la kamero dum pretigo.