Plasma surfacpurigado estas procezo en kiu malpuraĵoj kaj poluaĵoj de la specimena surfaco estas forigitaj per la kreado de altenergia plasmo el gasaj partikloj, ĝi estis desegnita por diversaj aplikoj kiel surfacpurigado, surfaca steriligo, surfaca aktivigo, surfaca energiŝanĝo, surfaca preparado por ligado kaj aliĝo, modifo de surfaca kemio.